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玻璃基底和粗糙度在氮化硅薄膜椭偏测量中的影响
【机构】 中国计量科学研究院；
【摘要】 在光谱椭偏测量中,玻璃基底的背反射会给椭偏测量造成较大影响,针对平板显示器件玻璃基底表面氮化硅镀膜进行了椭偏测量和模型计算,讨论了玻璃基底中非相干背反射以及薄膜界面层、表面粗糙度对模型拟合度的影响,给出了玻璃基底以及薄膜体系的光学常数、薄膜结构的分析结果,对透明基底表面沉积单层或多层薄膜均有借鉴意义。
- 【会议录名称】 中国光学学会2011年学术大会摘要集
- 【会议名称】中国光学学会2011年学术大会
- 【会议时间】2011-09-05
- 【会议地点】中国广东深圳
- 【分类号】O484.5
- 【主办单位】中国光学学会