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氢氦离子注入机的研制
A 200keV H2+/He+ Ion Implanter
【作者】 陈立华； 崔保群； 马瑞刚； 郑永男； 姜冲； 黄青华； 马鹰俊； 蒋渭生；
【Author】 Lihua CHEN,Baoqun CUI,Ruigang MA,Yongnan ZHENG,Chong JIANG,Yingjun MA, Qinghua HUANG,Weisheng JIANG China Institute of Atomic Energy
【机构】 中国原子能科学研究院；
【摘要】 介绍正在研制的氢氦离子注入机的结构和各部分的主要性能指标。它的最高能量200keV,可以按一定比例同时用氢氦两种离子进行注入实验。该机经过调试,各项主要指标已达到设计要求,工作稳定可靠。
【Abstract】 The configuration and performance of an developing H2+ /He+ ion implanter is described,Which is aimed to produce 200keV H2+ and He+ beam simultaneously. The ion ratio of beam would be varied to meet the requirements of experiment.The primary operations research shows that the ion optics,ion source,electronic and mechanical designs are reasonable and reliable.
- 【会议录名称】 2010全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集
- 【会议名称】2010年全国荷电粒子源、粒子束学术会议、中国电工技术学会第十三届全国电子束离子束学术年会暨电子束离子束专业委员会换届大会、中国电子学会焊接专业委员会第十届全国电子束焊接学术交流会、粒子加速器学会第十二届全国离子源学术交流会、中国机械工程学会焊接分会高能束及特种焊接2010年学术交流会、北京电机工程学会第十一届粒子加速器学术交流会
- 【会议时间】2010-06-30
- 【会议地点】中国辽宁大连
- 【分类号】TL503.3
- 【主办单位】中国电工技术学会电子束离子束专业委员会、中国电子学会焊接专业委员会、粒子加速器学会离子源专业组、中国机械工程学会焊接分会高能束焊接专业委员会、北京电机工程学会加速器专业委员会