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利用电子束刻蚀制备氧化锌点阵

Fabricated ZnO arrays using electron-beam lithography

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【作者】 宋崇顺王书杰戴树玺杜祖亮

【Author】 C.S.Song,S.J.Wang,S.X.Dai,Z.L.Du Key Lab for Special Functional Materials of Ministry of Education,Henan University,Kaifeng 475004,China

【机构】 河南大学特种功能材料教育部重点实验室

【摘要】 <正>氧化锌纳米线或纳米棒阵列结构在纳米电子学具有很新颖的物理特性,比如场发射器件,生物化学气敏,光致发光器件,光电二极管和激子太阳能电池。本文主要利用电子束刻蚀制备氧化锌点

【关键词】 电子束刻蚀氧化锌点阵
【基金】 国家自然科学基金(No.20903034,10874040);教育部科技创新工程重大项目培育基金(708062);河南省科技创新杰出人才基金项目的资助
  • 【会议录名称】 2011中国材料研讨会论文摘要集
  • 【会议名称】2011中国材料研讨会
  • 【会议时间】2011-05-17
  • 【会议地点】中国北京
  • 【分类号】TB383.1
  • 【主办单位】中国材料研究学会
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