节点文献
以单层PS球为模板利用纳米压印制备图案化氧化锌薄膜
Fabrication of Surface-Patterned ZnO Thin Films Using PS templates by Nanoimprint Lithography
【Author】 Y.Wang,S X.Dai,D B Zhang,K.Cheng,Z.L.Du Key Lab for Special Functional Materials of Ministry of Education,Henan University,Kaifeng 475004,China
【机构】 河南大学特种功能材料教育部重点实验室；
【摘要】 <正>氧化锌是一种新型宽禁带直接带隙II-Ⅵ族半导体材料。在太阳能电池工艺中,图案化纳米氧化锌薄膜可以提高可见光区的光透过率,并可通过掺杂提高其导电性,是作为太阳能电池窗口层以及顶电极的优异结构材料。传统的氧化锌薄膜制备方式如磁控溅射等技术只能制作平面结构的薄膜,
【基金】 国家自然科学基金(No.20903034,10874040);河南省科技创新杰出人才基金项目资助
- 【会议录名称】 2011中国材料研讨会论文摘要集
- 【会议名称】2011中国材料研讨会
- 【会议时间】2011-05-17
- 【会议地点】中国北京
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国材料研究学会