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图案化氧化锌薄膜的制备及其光电性质

Fabrication and Photo-electric propertiesof Surface-Patterned ZnO Thin Films

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【作者】 戴树玺王洋张电波王书杰杜祖亮

【Author】 S X.Dai,Y.Wang,D B Zhang,S J Wang,Z.L.Du Key Lab for Special Functional Materials of Ministry of Education,Henan University,Kaifeng 475004,China

【机构】 河南大学特种功能材料教育部重点实验室

【摘要】 <正>作为宽禁带II-Ⅵ族半导体材料,氧化锌薄膜材料在透明电极、气敏和光伏等领域具有广泛的应用。本文采用纳米压印和电子束刻蚀等方法制备了一系列图案化纳米氧化锌薄膜,其中采用纳米压

【基金】 国家自然科学基金(No.20903034,10874040);河南省科技创新杰出人才基金
  • 【会议录名称】 2011中国材料研讨会论文摘要集
  • 【会议名称】2011中国材料研讨会
  • 【会议时间】2011-05-17
  • 【会议地点】中国北京
  • 【分类号】TB383.2;O614.241
  • 【主办单位】中国材料研究学会
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