【作者】 杜亦佳； 鲍景富； 赵兴海； 郑英彬；

【Author】 Du Yi-jia~1 Zhao Xing-hai~2 (1 University of Electronic Science and Technology of China,Chengdu 611731; 2 China academy of engineering physics,Mianyang 621900,China)

【机构】 电子科技大学； 中国工程物理研究院电子工程研究所；

【摘要】 本文对RF MEMS(射频微机电)器件中广泛应用的MAM(金属-空气-金属)电容结构进行建模和分析。首先分析了MEMS桥在工作过程中可能出现的误差,阐述了采用MAM电容进行优化的必要性。研究了这种结构的不连续性效应,提出其等效电路模型,包括考虑下极板分布效应的电路模型和简化模型。采用X波段分布式移相器两个不同长度的电路单元来讨论所提出MAM电容结构模型的准确性,得到两种模型的有效性和工作机理。本文所提出的MAM电容结构等效电路模型能够较为精确地反映电路性能。更多还原

【Abstract】 In this paper,the MAM(metal-air-metal) capacitor is widely used in RF MEMS device is modeling and analysis.Firsly,possible error is analyzes when MEMS bridge is working.And we explained the necessity to use the MAM capacitors.Studied the effect of the discontinuity of this structure,the equivalent circuit model is proposed, including consideration of distribution of the bottom plate of the circuit model and the simplified model.X-band distributed phase shifter circuit of two units with different lengths is adopting to discuss the effectiveness and mechanism of the proposed two models.The proposed equivalent circuit model of MAM capacitor can accurately reflect the performance of the circuit.更多还原