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用于微波等离子体激励的微带环缝谐振器的设计
【机构】 华东师范大学信息学院电子系；
【摘要】 本文介绍了一种新型的微带环缝谐振器(MSRR)的设计方法。它具有平面化、小型化的特点,且结构简单。谐振器的电路尺寸为波长的1/2,调整缝隙的宽度和偏转角度使谐振器和馈电端相匹配。这种谐振器主要应用于低压小功率微波等离子体源中。研究表明,实验结果与仿真结果基本吻合。
【基金】 国家自然科学基金资助项目(批准号:60471015)
- 【会议录名称】 2005’全国微波毫米波会议论文集（第三册）
- 【会议名称】2005’全国微波毫米波会议
- 【会议时间】2006-02-27
- 【会议地点】中国广东深圳
- 【分类号】TN454
- 【主办单位】中国电子学会