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利用微波近场显微镜研究薄膜微波表面电阻的空间分布
【作者】 冯一军； 刘雷； 刘庆国； 尤立星； 杨森祖； 吴培亨；
【机构】 南京大学电子科学与工程系；
【摘要】 本文介绍了我们设计和制造的一套同轴谐振腔型微波近场扫描显微镜,利用该显微镜可以研究材料微波特性的空间分布,文章分析了微波近场扫描显微镜的空间分辨率并研究了影响空间分辨率的因素。利用这套微波近场扫描显微镜,对金属薄膜的微波表面电阻的空间分布进行了测量。
【基金】 国家自然科学基金项目;日本Telecommunications Advancement Organization(TAO)国际合作项目
- 【会议录名称】 1999年全国微波毫米波会议论文集(下册)
- 【会议名称】1999年全国微波毫米波会议
- 【会议时间】1999-10-01
- 【会议地点】中国湖南长沙
- 【分类号】TN12
- 【主办单位】中国电子学会