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自聚焦平面微透镜阵列的制作及基本特性

Fabrication and Characterizatonof Gradient Index Planar Microlens Array

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【作者】 刘德森； 高应俊； 朱传贵； 闫国安；

【Author】 Liu Desen,Gao Yingjun,Zhu Chuangui,Yan Guoan (Xi’an Institute of Optics and precision Mechanics,AcademiaSinica,xi’an 710068)

【机构】 中国科学院西安交机所；

【摘要】 讨论了自聚焦平面微透镜阵列的制作工艺和它的基本特性。

【Abstract】 The fabrication and characterization of gradient index ptanar microtens array is discussed.

【关键词】 自聚焦平面微透镜阵列； 光刻离子交换；
【Key words】 Gradient index； microtens array,phototithographicion exchange；
  • 【会议录名称】 1995年全国微波会议论文集（上册）
  • 【会议名称】1995年全国微波会议
  • 【会议时间】1995-10-01
  • 【会议地点】中国江苏南京
  • 【分类号】TH74
  • 【主办单位】中国电子学会微波分会
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