【作者】 石泽兴； 胡静涛；

【Author】 Shi Zexing Hu Jingtao (Shenyang Institute of Automation Chinese Academy of Science Shenyang 110016 China)

【机构】 中国科学院沈阳自动化研究所；

【摘要】 通过分析,针对IC集束装备制造系统的组成结构、加工流程和生产方式的特点,在准确描述了晶圆加工过程的细节后,利用Petri网为工具对该系统建立了模型。并以该模型为基础,借助于VRML技术,建立了虚拟IC集束装备。该软件平台能够真实的在现晶圆加工的过程。借助于该软件平台,不仅可以进行复杂的IC集束装备控制器的控制与调度算法的验证,分析比较不同算法的优劣,而且为进一步的制造真实的IC集束装备打下了良好的基础。更多还原

【Abstract】 Nowadays,semiconductor manufacturing uses integrated tools which combine several single-wafer process modules and a transport module,called Cluster Tools.A Cluster Tool controller is a complex control software system that make the verification work seems to be challenging.This paper proposes a Petri-Net based Virtual Cluster Tools to assist the verification work of Cluster Tool Controller.更多还原