【作者】 朱亚彬； 魏敏建； 何帆； 刘依真； 王保军； 陈志杰；

【Author】 ZHU Ya-bin,WEI min-jian,HE fan,LIU Yi-zhen,WANG Bao-jun,CHEN Zhi-jie (School of Science,Beijing Jiaotong University,Beijing,100044,China)

【机构】 北京交通大学理学院；

【摘要】 本文介绍一种自制真空变温薄膜电阻测试仪器,可以实现粗真空(0<P<1atm)条件下,从室温到300℃的四探针法薄膜电阻测试。适用于开展薄膜物性与电阻和温度相关的实验,例如,金属与半导体薄膜的温度—电阻特性实验,二氧化钒薄膜热滞效应实验等。更多还原

【Abstract】 A new self-made instrument for film resistance measurement by four probe method with varying temperature(room temperature to 300℃)under rough vacuum condition (0<P<1atm)was introduced.It is suitable for development related experiment of physical properties much affecting by characteristic of resistance versus temperature,for example,metal and semiconductor thin film resistance vs.temperature characteristic experiment or vanadium dioxide thin film thermal lag effect experiment,and so on.更多还原