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磁控溅射法制备镍膜热敏电阻特性的研究
【作者】 翟于嘉； 蔡长龙； 黄静； 刘欢； 周顺； 刘卫国；
【机构】 西安工业大学光电微系统研究所；
【摘要】 目前,红外传感器技术在军事及民用等诸多领域具有广泛的应用前景。测辐射热计是主流的低成本非制冷红外热探测器之一。热敏电阻薄膜是测辐射热计的核心元件,由于金属材料用做热敏电阻时,具有线性范围宽,材料资源丰富,成本低,与硅集成工艺兼容性好等优点。镍膜由于其电阻一温度曲线线性度好,化学及物理性能稳定;具有较高而稳定的电阻温度系数;材料资源丰富;容易加工;价格便宜,与微电子工艺兼容等优点。由于TCR和方块电阻是衡量测辐射热计的两个重要参数,因此需要制备TCR尽量高、方阻适中的热敏薄膜。
【关键词】 镍膜；
电阻温度系数(TCR)；
直流磁控溅射；
工艺参数；
- 【会议录名称】 2010年西部光子学学术会议摘要集
- 【会议名称】2010年西部光子学学术会议
- 【会议时间】2010-07
- 【会议地点】中国陕西西安
- 【分类号】TH811
- 【主办单位】陕西省光学学会、中国光学学会高速摄影与光子学专业委员会