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一种基于干涉图处理的相位解包新算法

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【作者】 万文博苏俊宏杨利红徐均琪

【机构】 西安工业大学光电工程学院

【摘要】 干涉图的处理是光干涉计量中的关键技术。现代干涉测量技术具有高精度、非接触性和大视场等的测量优点。采用泰曼-格林型干涉系统,建立被测物与干涉相位之间的数学模型,通过数字图像算法编制软件处理,从而实现薄膜样片厚度的自动化测量。本文提出了一种新的相位解包算法,该算法通过识别一个种子点,依次向相邻四点扩展,再把这四个点作为第二批种子点,依次向各自的四点邻域扩展,以菱形轨迹遍历所有的有效信息点,以到达整个图象的相位解包。

【关键词】 干涉图二维FFT相位解包薄膜厚度测试
  • 【会议录名称】 2010年西部光子学学术会议摘要集
  • 【会议名称】2010年西部光子学学术会议
  • 【会议时间】2010-07
  • 【会议地点】中国陕西西安
  • 【分类号】O436.1
  • 【主办单位】陕西省光学学会、中国光学学会高速摄影与光子学专业委员会
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