超快激光脉冲激发下金纳米薄膜的热传递过程研究

【作者】 吴文智； 高来勖； 李松权； 高亚臣； 常青； 叶红安；

【机构】 黑龙江大学电子工程学院；

【摘要】 随着大规模集成电路的发展,要求其具有更大集成度和更高运算速率,同时要求降低瞬间产生的热流密度,这种微观、超快的热传递问题成为大规模集成电路的主要瓶颈。本文分别从实验测量和理论模拟角度讨论在超快激光脉冲作用下金膜的热传递过程。使用低频飞秒泵浦-探测技术从实验角度来研究金膜非平衡传热过程,得到了50 nm金膜的衰减动力学曲线。从抛物两步双温模型出发,对金膜的热传递过程进行了分析与讨论,通过对不同能量激光脉冲激发下的结果与实验结果的比较与优化,讨论其对电子-声子耦合系数的影响。在金膜厚度趋近于几十个纳米时,需要考虑金膜基底材料的热阻效应。更多还原