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MEMS热控百叶窗仿真与实验研究
【机构】 南京理工大学动力学院；
【摘要】 本文结合国内加工水平,设计了两层结构的MEMS百叶窗,并在此基础上对其进行了仿真、加工工艺和实验测试等方面的研究。结果表明,15V直流电压下MEMS百叶窗实际位移最大可达4.2um,谐振频率820Hz,与理论、仿真计算的结果比较接近。
- 【会议录名称】 中国宇航学会深空探测技术专业委员会第六届学术年会暨863计划“深空探测与空间实验技术”重大项目学术研讨会论文集
- 【会议名称】中国宇航学会深空探测技术专业委员会第六届学术年会暨863计划“深空探测与空间实验技术”重大项目学术研讨会
- 【会议时间】2009-12-01
- 【会议地点】中国海南三亚
- 【分类号】V423
- 【主办单位】中国宇航学会深空探测技术专业委员会、863计划“深空探测与空间实验技术”重大项目专家组、北京控制工程研究所、空间智能控制技术国家级重点实验室、北京理工大学