【作者】 李泽飞； 刘冀伟； 瞿青德；

【Author】 Li Zefei;Liu Jiwei;Qu Shoude;Automation Department University of Science and Technology Brijing;

【机构】 北京科技大学自动化系；

【摘要】 本文把时间序列分析中的混合回归模型应用于GaAs晶体生长的自动控制。这种方法采用混合回归模型拟合单晶直径与温度之间的关系,并依据当前拉制的单晶直径与相应的输入温度,对模型参数进行在线修正,模型阶次则借助直径序列与温度序列的自相关函数来判定,实现了晶体生长过程的自动控制,为复杂分布参数系统的控制开辟了一条新的道路。更多还原

【Abstract】 This paper applied the mixed regressive model in the time series to the automation control of GaAs Crystal growth.This method adapt the mixed regressive model to describe the relation between the diameter of single Crystal and the input temperature,on-line modify the value of model parameter according the diameter of single crystal and the corrsponding temperature.The model order is determined by their own autoregressive function of diameter series and temperature series.Finally,reach the goal of automation control of GaAs Crystal growth.So this paper provide a new road for the automation control of the complex distributed parameters system.更多还原