微电容式Lamb波器件及其制作

【作者】 胡友旺； 贾宏光； 李锋； 张平； 王淑荣； 吴一辉；

【机构】 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所；

【摘要】 针对目前Lamb波器件功能材料层的制作工艺与传统集成电路工艺不兼容的问题,提出了激励和接收均使用电容式叉指换能器(CIDT:Capacitive Interdigital Transducers)的小型化微电容式Lamb波器件,并给出了器件的设计原理、结构和MEMS制作工艺。器件采用CIDT直接激励和接收Lamb波非对称模式的方式,解决了机电耦合效率的问题。初步研究了器件的频率响应特性。实验表明:器件的制作工艺和集成电路(IC:Integrated Circuit)工艺完全兼容。由于器件的振动元件硅薄膜对质量等物理量敏感,因而微电容式Lamb波器件可以用来制作微传感器。更多还原