基于厚双折射平板的移相剪切干涉仪

【作者】 胡仕玉； 刘蕾； 曾爱军； 朱玲琳； 黄惠杰；

【机构】 中国科学院上海光学精密机械研究所；

【摘要】 <正>1.引言横向剪切干涉是波前测量最有效的方法之一,目前已有的移相剪切干涉仪一般以压电传感器、液晶相位延迟器、偏振器件和楔板作为移相器,而压电传感器具有非线性,迟滞、易振动和受温度影响的缺陷,液晶相位延迟器通过改变电压来移相,但是液晶表面需要精密镀层以消除噪声干扰,偏振移相器需要一个1/4波片和偏振片两个光学器件来达到移相,楔板则是通过沿着楔角方向移动楔板来实现移相,这样其剪切量不能小到测量小口径光束,因为薄的楔板很难保证均匀一致。基于上述移相剪切干涉仪的缺陷,本文提出了一种基于厚双折射平板的移相剪切干涉仪,厚双折射平板在系统中既是剪切产生器,也是移相器。更多还原