高精度通用化非球面检测技术研究

【作者】 刘东； 杨甬英； 张磊； 师途； 种诗尧； 吴涵烁； 沈亦兵； 陈阳杰；

【机构】 浙江大学光电系现代光学仪器国家重点实验室； 杭州晶耐科光电技术有限公司；

【摘要】 <正>非球面光学元件的检测一直备受关注。以无像差点法、零位补偿镜法和计算全息法为代表的零位干涉检测法,实现了单个或小量非球面的高精度检测。但检测非球面,除了需要高精度外,还对检测效率、实时性、通用性等有较大需求,并且希望可以检测深度非球面。寻找一种非球面检测技术或方法,在兼顾检测精度的同时,更侧重于检测速度及对各种非球面(甚至是深度非球面)的通用性,从而可以满足数量剧增且形状更多样的非球面应用的需求,同时也是现代光学技术与系统不断发展及性能提升的必然趋势。在汲取了国内外同行关于非球面检测的研究基础和特点的基础上,我们提出了新颖的更多还原