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一种提高光束斯托克斯参数与偏振度测量精度的方法
【机构】 中国科学院上海光学精密机械研究所； 中国科学院研究生院；
【摘要】 <正>随着浸没式光刻技术的快速发展,光刻机投影物镜的数值孔径已显著提高,当投影物镜的数值孔径接近1或者更大时,照明光偏振态对光刻成像的影响越来越大。采用偏振照明技术是提高光刻成像质量的有效途径。照明光偏振检测技术则是实现偏振照明的前提。在照明光偏振检测领域,旋转波片法检测技术因其测量精度高、结构稳定得到普遍应用,其结构如图1所示。光束通过旋转的波片C和固定的检偏器A后,由光电探测器D探测光强,通过计算得出斯托克斯参数与偏振度。
- 【会议录名称】 第十四届全国光学测试学术讨论会论文（摘要集）
- 【会议名称】第十四届全国光学测试学术讨论会
- 【会议时间】2012-09-21
- 【会议地点】中国四川绵阳
- 【分类号】TN305.7
- 【主办单位】中国光学学会光学测试专业委员会