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镜片顶点曲率半径超高精度测量中热影响分析
【机构】 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室； 中国科学院研究生院；
【摘要】 <正>温度在干涉测量中是一个非常重要的因素,如需要获得高精度的测量结果,必须对温度变化对测量结果的影响加以分析。本文简要介绍了FRCI(FocusRetro Collimated Interferometry)测量方法的原理及步骤,并以此为基础,模拟计算了环境温度均匀变化条件下测量系统各光学元件的面型及性能参数的变化,并与理想环境下的测量系统作对比,分析比较了均匀温度变化的不同范围
- 【会议录名称】 第十三届全国光学测试学术讨论会论文（摘要集）
- 【会议名称】第十三届全国光学测试学术讨论会
- 【会议时间】2010-07-18
- 【会议地点】中国湖北武汉
- 【分类号】TQ171.1
- 【主办单位】中国光学学会光学测试专业委员会