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移相点衍射干涉仪误差分析
【机构】 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室；
【摘要】 <正>相移点衍射干涉仪(PSPDI)利用小孔衍射生成的近似理想的球面波充当测量光和参考光,摆脱了传统斐索或泰曼-格林干涉仪中参考镜面形精度的限制,检测精度可以达到深亚纳米量级,可达到超高精度斐索干涉仪中的光学元件的检测精度要求。为了实现0.1nm RMS的超高检测精度,本文对可见光移相点衍射干涉仪的测试误差进行了分析与模拟。首先介绍了可见光点衍射干涉仪的基
- 【会议录名称】 第十三届全国光学测试学术讨论会论文（摘要集）
- 【会议名称】第十三届全国光学测试学术讨论会
- 【会议时间】2010-07-18
- 【会议地点】中国湖北武汉
- 【分类号】TH744.3
- 【主办单位】中国光学学会光学测试专业委员会