一种步进扫描投影光刻机工件台基底表面形貌检测新技术

【作者】 何乐； 王向朝；

【机构】 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室； 中国科学院研究生院；

【摘要】 <正>工件台是高精度步进扫描投影光刻机的重要组成部分,主要由大理石基底、承片台以及相关的伺服与测量设备组成。光刻过程中,承片台装载着晶圆片在大理石基底表面高速运动,测量和伺服设备实时调节承片台的垂向位置,使晶圆片始终处于光刻机的焦深范围内并平行于光刻机的最佳焦平面。由于加工技术的限制,大理石基底表面有几百纳米的形貌起伏。大理石基底表面的形貌起伏严重影响承片台的定位精度。为消除这种影响,通常将大理石基底表面形貌测量结果用作前馈输入量进行预测控制。因此,大理石基底表面形更多还原