大口径长焦距大视场无遮拦离轴三反镜光学系统的装调

【作者】 杨晓飞； 韩昌元；

【机构】 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所；

【摘要】 <正>离轴三反镜光学系统具有体积小、结构紧凑、无中心遮拦、校正二级光谱容易、视场可以做大、焦距可以做长、口径可以做大等优点,被国内外同行广泛关注。现在,离轴三反镜光学系统被用作航天遥感光学系统以及高精度的极紫外光刻系统,由于离轴三反镜光学系统的中心轴线不是镜子的几何中心轴,在装调时不能用传统的对心仪,这给装调带来极大的困难,这就要求有更先进的装调方法来实现对其光学系统的装调。计算机辅助装调就是在这种情况下发展起来的,国外关于此方面的报道比较少,具体的装调方法和算法更少。更多还原