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大曲率半径的非接触数字化测量系统的研究
【机构】 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室；
【摘要】 <正>在高科技及国防军工领域中,一些激光器谐振腔常常具有较大的曲率半径,其加工及测试的精度要求也越来越高。本文在分析各种大曲率半径测量方法的基础上,提出了一种新颖的利用干涉体系产生非接触的牛顿环并与C C D图象处理技术相结合的新方法。其可测量的曲率半径从1～25m,具有很宽的测量范围;而整个测试体系结构却非常紧凑,不受凹、凸球面限制。理论分析及初步实验结果表明:曲率半径测量的相对误差△R/R可优于0.3%。大曲率半径测量系统的光学原理如下:He-Ne激光束经扩束后,光束垂直射入一偏振分光镜PBS,反射光射入参考面,透射光线经一五棱镜后,垂直射入被检面后返回,经PBS后
- 【会议录名称】 第九届全国光学测试学术讨论会论文（摘要集）
- 【会议名称】第九届全国光学测试学术讨论会
- 【会议时间】2001-10-23
- 【会议地点】中国福建厦门
- 【分类号】TN386.5;TH74
- 【主办单位】中国光学学会光学测试专业委员会