脉冲真空电弧制备类金刚石红外增透膜的性能测试

【作者】 严一心； 蔡长龙； 李刚； 杭凌侠； 朱昌；

【机构】 西安工业学院光电系；

【摘要】 <正>类金刚石（DLC）薄膜作为新一代的光学薄膜材料具有十分优异的性能:红外区透明、热导率高、耐摩擦、化学性能稳定、耐热冲击……等等,能较好地满足红外光学系统的需要,采用脉冲真空电弧制备类金刚石薄膜,膜层性能稳定、3.4μm处无吸收峰,能在大尺寸及形状复杂的基底上镀膜。类金刚石红外增透膜,通常是在硅、锗基底上镀制单层DLC膜或多层膜,膜的最外层为DLC膜,DLC膜的性能好坏,直接影响到红外增透膜的性能。本文中采用测量DLC膜的显微硬度及电阻率来判断膜层质量,若电阻率大于10⁸Ω·cm^-1,显微硬度大于50GPa,则DLC膜的SP³含量多,性能好,能满足红外增透膜的要求。测量显微硬度及电阻率的准确测量方法如下:利用显微硬度计测量DLC膜的硬度是复合显微硬度,即它不仅包含了DLC膜的硬度,同更多还原