用脉冲多弧离子源镀制镍铬铁合金薄膜的特性测试

【作者】 朱昌； 严一心； 蔡长龙； 杭凌侠；

【机构】 西安工业学院光电系；

【摘要】 <正>镍铬铁合金薄膜具有透过率与入射光的波长变化无关的特性,从而可以使这种薄膜应用到特殊的光学系统中。传统镍铬铁的镀膜在玻璃基底上的方法是利用蒸镀法。用这种方法镀制出的薄膜结构松弛,膜层性质不稳定,寿命短,牢固性较差。我们采用脉冲多弧离子镀法,附加阴极套筒,成功地解决了镍铬铁合金的均匀性和牢固性问题。1镍铬铁合金薄膜均匀性研究测量结果表明等离子体密度随发射角度不同密度有明显区别,为解决等离子体密度不均匀问题,我们曾采取外加磁场的方法,其实验结果都不令人满意。经过理论计算和实验,在脉冲多弧离子源阳极上方附加一个带负电位的金属圆筒,可以使等离子体在外加负电场作用下更多还原