光学和长度量干涉测试的进展与展望

【作者】 陈进榜； 高志山； 吴新民；

【机构】 南京理工大学电子工程与光电技术学院；

【摘要】 <正>本文仅就我们参与的光干涉计量测试技术,阐述光学和长度量干涉测试的进展和展望。1光学件和光学系统干涉计量测试(图一、二)传统光干涉仪技术中,引入新原理(光电相位探测)、新器件(压电晶体、声光晶体、电光晶体等),新技术(计算机辅助干涉术等),形成现代光干涉测试技术。特点是:光电探测定量测试;多幅动态干涉图测量和多幅干涉图的组合测试,多参数、多功能测量,光波段由可见光扩展到远红外波段,干涉仪也已由光机型发展到光、机、电、算相结合,融硬、软件于一体的智能化、高精度实时处理的现代干涉仪,操作更加简便,测试更客观、显示更直观,结果更准确。更多还原