【作者】 胡玉燕； 田俊； 叶其辉； 陈红雨； 李核；

【Author】 HU Yu-yan, TIAN Jun, YE Qi-hui, CHEN Hong-yu, LI He (School of Chemistry and Environment, South China Normal University, Guangzhou 510006,China)

【机构】 华南师范大学化学与环境学院；

【摘要】 探讨了采用ICP-AES法同时测定多晶硅中的Fe、Al、Ca、Mn、Cu、Cr、Ni、Ti、Zn、As、P、B等12种杂质元素,该方法测定的元素相对标准偏差(RSD)均<2.4%,回收率为92%～104.8%,方法检出限低,测定结果准确可靠。更多还原

【Abstract】 In this paper, the ICP-AES method for determination iron and other 11 impurity elements in polycrystalline silicon is described. The relative standard deviation(RSD) of results were less than 2.4% for all elements, and recoveries were 92% to 104.8%. The detection limit of this method is relative lower, and the result is accurate and reliable.更多还原