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氧原子在化学气相淀积金刚石过程中的作用
The Functions of Oxygenin CVD Diamond Deposition Process
【Author】 Liu Zhijie Zhang Wei Wan Yongzhong Wang Jitao (Dept.of Electronic Engineering,CVD Lab.,Fudan University,Shanghai,200433,China)
【机构】 复旦大学电子工程系CVD研究室；
【摘要】 含氧体系低压金刚石的制备由于氧的存在,能够改善金刚石薄膜质量、提高淀积速率和降低淀积温度而被人们所重视。本文根据非平衡热力学耦合理论模型计算得到了碳氢氧体系金刚石生长的投影相图,与大量的实验结果比较相符合。讨论了氧原子在金刚石淀积过程中的作用,计算结果可以为金刚石生长实验提供定量化的条件选择和优化的依据。
【Abstract】 Scientists have paid great attentions on diamond deposition under low pressure from oxygen-containing gas mixtures for the improvement of diamond quality,the accelerated growth rate and the lowered deposition temperature in the presence of oxygen.In this article,diamond growth phase diagram based on non-equilibrium coupling model for C-H-O system was calcuated and coordinated well with large quantities of published experimental results.The functions of oxygen in the process of diamond deposition were discussed and the calculated results can provide a guide to the growth conditions for experimental research.
- 【会议录名称】 第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集
- 【会议名称】第三届中国功能材料及其应用学术会议
- 【会议时间】1998-10-13
- 【会议地点】中国重庆
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国仪器仪表学会仪表材料分会、中国金属学会功能材料分会、中国化学会、中国物理学会发光分科学会、机械工业部重庆仪表材料研究所、北京有色金属研究总院、清华大学、中国科技大学、南京大学、吉林大学、东北大学、北京科技大学、天津大学、重庆大学、四川联合大学、电子科技大学、福州大学、北京航空航天大学、湖南大学、大连理工大学、华中理工大学、北京工业大学、合肥工业大学、《功能材料》编辑部、重庆市科学技术委员会