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热灯丝辅助PCVD生长金刚石厚膜
Growth of The Diamond Thick Film by Hot Fialment Assistant PCVD
【作者】 王佳宇； 吕宪义； 孙越； 白亦真； 金曾孙； 邹广田；
【Author】 Wang Jiayu L Xianyi Sun Yue Bai Yizhen Jin Zengsun Zou Guangtian (National Labrary of Superhard Material,JiLin University,Changchun 130023,China)
【机构】 吉林大学超硬材料国家重点实验室；
【摘要】 本文设计出了热灯丝辅助PCVD金刚石厚膜沉积方法,该方法实现了以20～30μm/h的沉积速率沉积高品质的金刚石厚膜。本文对所制备的金刚石厚膜的取向用XRD进行分析,发现随着膜厚的增加,〈110〉取向度急剧增加。我们认为,这是生长过程中〈111〉晶面劈裂成三个〈110〉晶面的原因。
【Abstract】 Diamond thick-film had been deposited by hot filament asistant PCVD on the Mo substrate.By this way,high quality diamond thick film could been deposited at the rate of 20～30μm/h.XRD was used to analyse the structure of diamond thikfiem,abrupt increase〈110〉orientation was foud,which was caused the degeneration of the〈111〉face into〈110〉face.
- 【会议录名称】 第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集
- 【会议名称】第三届中国功能材料及其应用学术会议
- 【会议时间】1998-10-13
- 【会议地点】中国重庆
- 【分类号】O484.1
- 【主办单位】中国仪器仪表学会仪表材料分会、中国金属学会功能材料分会、中国化学会、中国物理学会发光分科学会、机械工业部重庆仪表材料研究所、北京有色金属研究总院、清华大学、中国科技大学、南京大学、吉林大学、东北大学、北京科技大学、天津大学、重庆大学、四川联合大学、电子科技大学、福州大学、北京航空航天大学、湖南大学、大连理工大学、华中理工大学、北京工业大学、合肥工业大学、《功能材料》编辑部、重庆市科学技术委员会