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低浓度NO_x气敏薄膜的Sol-Gel制备及性能
Preparation and Properties of Low Concentration NO_x Sensing Sol-Gel Thin Films
【Author】 Fang Guojia~(1,2) Liu Zuli~1 Yang Shubin~2 Wang Hanzhong~2 Yao Kailun~1 (1 Dept.of Physics,Huazhong Univ.of Sci.& Tech.Wuhan,430074,China) (2 Information & Functional Materials Research Group,Dept.of Physics,Xiangfan College,Xiangfan,441053,China)
【机构】 华中理工大学物理系； 襄樊学院物理系信息功能材料研究室；
【摘要】 以SnCl2·2H2O为原料,Ti（OC4H9）4为掺杂剂,无水乙醇为溶剂,采用溶胶-凝胶（Sol-gel）工艺,制备了TiO2掺杂的SnO2薄膜。采用差热—失重分析（DTA-TG）及X-射线衍射（XRD）对2% mol TiO2-SnO2粉料（薄膜）的热分解晶化过程及物相进行了分析。实验发现TiO2-SnO2薄膜在常温下对高浓度（10ppm以上）H2S及NOx气体具有较高的灵敏度,在250～350℃温区对低浓度（1ppm以下）NOx气体灵敏度较高、响应快、选择性好。
【Abstract】 TiO2-SnO2 thin film was prepared by the Sol-Gel technique,using non-alkoxide SnCl2·2H2O as main precursor,Ti（OC4H9）4 as dopant,ethanol as solvent.The thermal decomposition and crystallization processes of 2%mol TiO2-SnO2 thin film has been studied with DTA-TG and XRD analysis.We found that 2% mol TiO2-SnO2 thin film prepared by this method had good sensitivity to i0ppm above NOx and H2S at room temperature and had good sensing properties to low concentration（below lppm） of NOx at 250～350℃temperature zone.
【Key words】 low concentration NO_x sensing； TiO2-SnO2 thin films； the sol-gel technique；
- 【会议录名称】 第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集
- 【会议名称】第三届中国功能材料及其应用学术会议
- 【会议时间】1998-10-13
- 【会议地点】中国重庆
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国仪器仪表学会仪表材料分会、中国金属学会功能材料分会、中国化学会、中国物理学会发光分科学会、机械工业部重庆仪表材料研究所、北京有色金属研究总院、清华大学、中国科技大学、南京大学、吉林大学、东北大学、北京科技大学、天津大学、重庆大学、四川联合大学、电子科技大学、福州大学、北京航空航天大学、湖南大学、大连理工大学、华中理工大学、北京工业大学、合肥工业大学、《功能材料》编辑部、重庆市科学技术委员会