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采用Zr（NO3）4制备高取向度PZT铁电薄膜的溶胶-凝胶工艺
Processing Practice of Oriented PZT Thin Film Prepared by sol-gel Methord with Zr（NO3）4
【Author】 Cao Wei Mo Xiaohong Tian jie Xlang Aimin Wang Xicheng (Beijing Graduate School,Wuhan University of Technology,Beijing,100024,China)
【机构】 武汉工业大学北京研究生部；
【摘要】 从实用化的角度出发,用无机盐替代锆的醇盐,通过sol-gel方法,成功合成了均匀、稳定的PZT溶胶。采用Pt/Ti/SiO2/Si基片并加入PT过渡层,经快速热处理在720℃的较低温度下制备出具有单一钙钛矿晶型、沿（100）方向高度定向的完整PZT陶瓷薄膜。
【Abstract】 Pb(Zr0.52Ti0.48)O3（PZT） ferroelectric ceramics thin film was prepared by sol-gel processing with Zr（NO3）4 instead of Zr alkoxide,and the insertion of an in situ crystallizing interlayer film of perovskite PbTiO3 （PT） as a seeding layer lowered the annealing temperature.Using a rapid thermal annealing（RTA） technique, crack-free PZT ceramics thin film with perovskite style structure and highly oriented（100） texture was obtained on Pt（111）/Ti/SiO2/Si substrate.
- 【会议录名称】 第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集
- 【会议名称】第三届中国功能材料及其应用学术会议
- 【会议时间】1998-10-13
- 【会议地点】中国重庆
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国仪器仪表学会仪表材料分会、中国金属学会功能材料分会、中国化学会、中国物理学会发光分科学会、机械工业部重庆仪表材料研究所、北京有色金属研究总院、清华大学、中国科技大学、南京大学、吉林大学、东北大学、北京科技大学、天津大学、重庆大学、四川联合大学、电子科技大学、福州大学、北京航空航天大学、湖南大学、大连理工大学、华中理工大学、北京工业大学、合肥工业大学、《功能材料》编辑部、重庆市科学技术委员会