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几类硬质薄膜的摩擦磨损性能测试
【机构】 中国科学院兰州化学物理研究所； 广州有色金属研究院； 兰州华汇仪器科技有限公司；
【摘要】 采用摩擦磨损试验机考察了几类复合硬质薄膜的摩擦磨损行为,结果表明:复合薄膜的摩擦磨损性能均极大提高。CrN基复合薄膜的硬度与抗磨损性能均较CrN薄膜有极大提高;Al/AlN纳米多层膜具有软质Al层和硬质AlN层的交替结构,在摩擦过程中,硬质AlN层可以起到良好的承载作用,软质层可以起到良好的减摩作用,有效的降低了Al/AlN纳米多层膜的摩擦和磨损,具有非常优异的摩擦学性能;Ti-DLC薄膜与Si3N4、钢、Ti-DLC对摩时,均表现出良好的耐磨减摩性能,但摩擦系数与磨损率各不相同。
- 【会议录名称】 薄膜技术高峰论坛暨广东省真空学会学术年会论文集
- 【会议名称】薄膜技术高峰论坛暨广东省真空学会学术年会
- 【会议时间】2009-12-05
- 【会议地点】中国广东广州
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】广东省真空学会