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两种镀膜处理对蓝宝石高温强度的影响
【机构】 上海大学电子信息材料系； 中国科学院上海硅酸盐研究所；
【摘要】 高温(>400℃)时,蓝宝石的强度会急剧下降,导致其抗热冲击能力的降低,从而限制了蓝宝石作为窗口及头罩材料的应用。对于蓝宝石的强化研究,应当致力于在提高强度的同时不影响其透过率。本实验中,首先在蓝宝石表面镀制了MgO膜和TiO2膜,然后通过热处理工艺欲使镀膜离子掺杂进入蓝宝石表层,从而达到强化的效果。最终测试结果表面:经过不同处理后的蓝宝石基片的强度均有提高,特别是镀MgO膜的蓝宝石高温强度提高了15.6%;另一方面,镀膜及后续热处理并未对蓝宝石的透过率产生较大影响。相对来讲,镀MgO膜是改善蓝宝石高温强度较好的方法。
- 【会议录名称】 第十六届全国晶体生长与材料学术会议论文集-11蓝宝石及衬底材料
- 【会议名称】第十六届全国晶体生长与材料学术会议
- 【会议时间】2012-10-21
- 【会议地点】中国安徽合肥
- 【分类号】TQ164.2
- 【主办单位】中国硅酸盐学会晶体生长与材料分会