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种子层诱导Sol-Gel法Li、Mg共掺ZnO薄膜的光电性质研究
【机构】 清华大学化学系；
【摘要】 本文以ZnO为种子层采用sol-gel法制备了Li、Mg共掺的氧化锌薄膜。Sol-gel法具有设备简单、不需真空、操作简便、易进行大面积薄膜制备和实现分子级别掺杂等优点。种子层诱导有利于促进ZnO薄膜的c轴取向生长,提高ZnO薄膜的结晶性能。本文系统的探讨了溶胶溶度、掺杂浓度及退火温度等对ZnO薄膜性能的影响。利用XRD、SEM、PL、等手段对薄膜的结构性能、表面形貌和发光性能进行了表征,得到了较好的薄膜制备工艺参数,通过Li、Mg掺杂使得ZnO薄膜的光致发光性能得到很大增强,近带边发射峰发生蓝移。
- 【会议录名称】 第十六届全国晶体生长与材料学术会议论文集-09薄膜晶态材料
- 【会议名称】第十六届全国晶体生长与材料学术会议
- 【会议时间】2012-10-21
- 【会议地点】中国安徽合肥
- 【分类号】O484.4
- 【主办单位】中国硅酸盐学会晶体生长与材料分会