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镀层与氧化膜的内应力及其测定方法

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【作者】 安茂忠； 朱成勇； 杨哲龙； 张景双； 屠振密；

【机构】 哈尔滨工业大学应用化学系；

【摘要】 本文综述了电镀层、阳极氧化膜、气相沉积多层膜和高温氧化膜等镀覆层中内应力产生的原因,介绍了内应力的测定方法,并对影响内应力的各种因素进行了分析。

【关键词】 内应力； 电镀； 阳极氧化； 气相沉积； 高温氧化；
  • 【会议录名称】 2001年全国电子电镀年会论文集
  • 【会议名称】2001年全国电子电镀年会
  • 【会议时间】2001-05-01
  • 【会议地点】中国江苏苏州
  • 【分类号】TQ153
  • 【主办单位】中国电子学会生产技术学分会电镀专业委员会
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