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电子束刻蚀超导膜的实验研究——扫描电子束对材料改性研究之三
【机构】 中国科学院电子学研究所； 中国科技大学研究生院；
【摘要】 本文论述了扫描电子束对YBa2Cu3O7-8超导膜进行干法刻蚀的实验研究;讨论了电子束工艺参数对刻蚀效果的影响;初步探讨了超导膜改性的机理.扫描电子束能使被刻蚀的超导膜局部改性为非超导膜,将为干法制备超导器件提供一个有效的方法.
【基金】 国家自然科学基金资助课题
- 【会议录名称】 中国电工技术学会电子束离子束专业委员会第五届电子束离子束学术年会、中国电子学会焊接专业委员会第三届电子束焊接学术年会论文集
- 【会议名称】中国电工技术学会电子束离子束专业委员会第五届电子束离子束学术年会、中国电子学会焊接专业委员会第三届电子束焊接学术年会
- 【会议时间】1993-12-01
- 【会议地点】中国福建厦门
- 【分类号】TN305.7
- 【主办单位】中国电工技术学会电子束离子束专业委员会、中国电子学会焊接专业委员会