节点文献
离子镀超硬镀层的研究及应用
【机构】 北京工业大学；
【摘要】 <正>一、引言:物理气相沉积通常包括真空蒸镀,溅射镀及离子镀。离子镀膜技术是真空蒸镀及溅射镀的结合,基本特点即是金属蒸汽原子在从蒸发源到基板(被镀金属)的迁移过过程中,其中一部分被电离成金属离子,并在电场的加速下沉积在基板表面形成膜层。因此该工艺具有较好的镀膜绕射性,镀制的膜层均匀致密,膜一基结合力强
【基金】 国家自然科学基金资助项目
- 【会议录名称】 中国电子学会北京热处理学组模具新材料应用推广研讨会论文集
- 【会议名称】中国电子学会北京热处理学组模具新材料应用推广研讨会
- 【会议时间】1992-09-01
- 【会议地点】中国北京
- 【分类号】TG174.44
- 【主办单位】中国电子学会北京热处理学组