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对引进离子注入机损坏部件进行国产化替换的尝试
【作者】 黄克铃； 关安民； 任晋成； 孙少康； 周荣祥； 经文春；
【机构】 中国科学院上海冶金研究所微电子学分部；
【摘要】 国内引进了不少离子注入机,维修问题日渐重要,对其损坏部件,用国产配件进行替换,不乏为又快又省的维修方法.本文叙述了九年多来,我们在维修IM-200M型离子注入机的实践中,对损坏的吸极电源,氟里昂热交换器和化学机械泵等重要部件,用自制的或改制的国内配件进行替换,从而保证了设备安全运行二万五千多小时,注入八万五千多块硅及GaAs靶片,完成了集成电路研制和开发任务.
- 【会议录名称】 中国电工技术学会电子束离子束专业委员会第四届电子束离子束学术年会暨中国电子学会焊接专业委员会第二届电子束焊接学术年会论文集
- 【会议名称】中国电工技术学会电子束离子束专业委员会第四届电子束离子束学术年会暨中国电子学会焊接专业委员会第二届电子束焊接学术年会
- 【会议时间】1991-06-01
- 【会议地点】中国广西桂林
- 【分类号】TN305.3
- 【主办单位】中国电工技术学会电子束离子束专业委员会、中国电子学会焊接专业委员会