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Ti膜的离子注入强化效应研究及应用
【机构】 西安交通大学；
【摘要】 我们用离子注入法在金属铍上制备了TiN薄膜,对其显微硬度及耐磨性能进行了测量。实验结果表明:在N+注入剂量为3.3×1017/cm2时,TiN膜具有较高的显微硬度和较低的磨损速率。x射线衍射分析结果证实样品表面形成了TiN膜。
- 【会议录名称】 中国电工技术学会电子束离子束专业委员会第四届电子束离子束学术年会暨中国电子学会焊接专业委员会第二届电子束焊接学术年会论文集
- 【会议名称】中国电工技术学会电子束离子束专业委员会第四届电子束离子束学术年会暨中国电子学会焊接专业委员会第二届电子束焊接学术年会
- 【会议时间】1991-06-01
- 【会议地点】中国广西桂林
- 【分类号】TN305.3
- 【主办单位】中国电工技术学会电子束离子束专业委员会、中国电子学会焊接专业委员会