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ECR等离子体源中磁场梯度的影响
【机构】 国防科学技术大学应用物理系； 中国科学院物理研究所； 中国科学院力学研究所；
【摘要】 用混合模型在二维位形空间和三维速度空间对电子回旋共振等离子体源中的粒子运动进行数值模拟,并着重研究磁场梯度在电子回旋共振等离子体源中所起的作用。结果显示磁场梯度增加时,电子温度、等离子体密度和离化率降低,而等离子体势和离子的能量增加。模拟中观测到一个θ方向不为零的平均速度,这是由于E×B和▽n1×B漂移所引起的。
- 【会议录名称】 信息科学与微电子技术:中国科协第三届青年学术年会论文集
- 【会议名称】“科技增强国力，青年开创未来——携手走向辉煌的新世纪”中国科协第三届青年学术年会
- 【会议时间】1998-08-20
- 【会议地点】中国北京
- 【分类号】O539
- 【主办单位】中国科学技术协会(China Association for Science and Technology)