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基于提高靶材利用率的磁场与靶材刻蚀仿真研究现状
【机构】 清华大学精仪系设计工程研究所；
【摘要】 介绍了基于提高靶材利用率的常用磁场仿真计算方法和靶材刻蚀的研究现状,并对这些研究方法的优缺点及适用场合做了简要分析。
- 【会议录名称】 2010中国·重庆第七届表面工程技术学术论坛暨展览会论文集
- 【会议名称】2010中国·重庆第七届表面工程技术学术论坛暨展览会
- 【会议时间】2010-09-01
- 【会议地点】中国重庆
- 【分类号】O441
- 【主办单位】重庆市科学技术协会、中国表面工程协会