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用于光束整形的衍射光学元件的设计和制作
【机构】 中国科学技术大学物理系；
【摘要】 结合光束整形相位器件的设计和制作实例,介绍最新提出的衍射光学元件(DOE:DiffractiveOptical Elements)设计方法和可行的制作工艺方案。经过对实际制作的16台阶器件的测试,验证了该种基于迭代框架中的优化方法的正确性,同时,证明了采用多台阶相位结构的工艺方案能够有效提高工艺宽容度。通过对工艺误差的理论分析,对粒子束多次掩摸套刻工艺提出了有效的改进方案。
【关键词】 衍射光学元件；
光束整形；
分步迭代优化(SIO)；
粒子束多次掩摸套刻；
- 【会议录名称】 光子科技创新与产业化——长三角光子科技创新论坛暨2006年安徽博士科技论坛论文集
- 【会议名称】长三角光子科技创新论坛暨2006年安徽博士科技论坛
- 【会议时间】2006-11-27
- 【会议地点】中国安徽合肥
- 【分类号】TN256
- 【主办单位】安徽省科学技术协会、中国科学技术大学