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基于表面等离子体激元效应的等离子体射流源研究
【作者】 郑振； 刘明海； 陈兆权； 刘佩； 陈明； 周启燕； 胡希伟；
【机构】 华中科技大学 强电磁工程与新技术国家重点实验室； 华中科技大学 电气与电子工程学院； 安徽理工大学 电气与信息工程学院；
【摘要】 介绍了一种新型的基于表面等离子体激元共振机理的等离子体射流发生器,实现了甚低功率下的有效放电。在大气环境下,微波输入功率为50 W,氩气流量为3 slm,石英管中生成了4.5cm长的氩等离子体射流。在气压为120 Pa,输入功率为20 W,氩气流量为6 slm,实现了氩气与驻留空气的混合放电,射流长度可达30cm。利用HFSS有限元电磁仿真软件进行试验仿真,结果与预期的表面波场强分布相吻合,验证了表面等离子体激元在产生等离子体上的激励作用。
- 【会议录名称】 第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会会议摘要集
- 【会议名称】第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
- 【会议时间】2013-08-15
- 【会议地点】中国上海
- 【分类号】O53;O358
- 【主办单位】中国力学学会等离子体科学与技术专业委员会、中国物理学会等离子体物理分会、中国核科学核聚变与等离子体物理学会