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立方氮化硼厚膜制备及表征
【机构】 大连理工大学材料科学与工程学院； 北京航空制造工程研究所 高能束流加工技术重点实验室；
【摘要】 <正>引言立方氮化硼有许多优异的性能,其较高的硬度使得其在耐磨部件表面防护涂层方面有很好的应用前景。在现有的各种制备方法中,荷能离子的轰击是c-BN形核和生长不可缺少的条件。而荷能粒子的轰击不可避免的带来很高的压应力及薄膜内应力,进而导致涂层与基底的剥离。这也使得c-BN厚膜的制备遇到困难。本文通过在膜基界面处先沉积三元B-C-N层,实现了c-BN厚膜的制备。同时,本文也对薄膜的结构,成分,键合状态和纳米硬度进行了表征。
- 【会议录名称】 第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会会议摘要集
- 【会议名称】第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
- 【会议时间】2013-08-15
- 【会议地点】中国上海
- 【分类号】O484.1
- 【主办单位】中国力学学会等离子体科学与技术专业委员会、中国物理学会等离子体物理分会、中国核科学核聚变与等离子体物理学会