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常压射频等离子体TiO2三维结构薄膜沉积气相过程研究

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【作者】 吴茂水徐雨戴林君曹满辉王恬恬郭颖丁可石建军张菁

【机构】 东华大学理学院

【摘要】 <正>引言当前,环境问题和能源问题已经成为新世纪人类社会迫切需要解决的世界性问题。其中,以TiO2为代表的氧化物半导体光催化材料以极佳的化学、热稳定性和极佳的光催化活性,得到了广泛的研究。实验图1为课题组采用常压等离子体辅助沉积方法制备三维结构TiO2薄膜的表面形

【基金】 国家自然科学基金的支持(10835004 and 10775031)
  • 【会议录名称】 第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会会议摘要集
  • 【会议名称】第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
  • 【会议时间】2013-08-15
  • 【会议地点】中国上海
  • 【分类号】O484.1;O53
  • 【主办单位】中国力学学会等离子体科学与技术专业委员会、中国物理学会等离子体物理分会、中国核科学核聚变与等离子体物理学会
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