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微波ECR氮-氩等离子体离子特征及制备FeN磁性薄膜的研究
【作者】 张一川； 谢新华； 郑仕健； 汤中亮； 李唤； 朱晓东；
【机构】 中国科学院基础等离子体物理重点实验室,中国科学技术大学近代物理系；
【摘要】 <正>在等离子体材料加工过程中,离子起着不可或缺的作用,在包括离子注入、等离子体刻蚀与沉积在内的等离子体工艺中都扮演着关键的角色。了解放电所产生的各种离子的行为,包括离子的种类、能量分布等参数,对于材料的表面形貌、结构乃至材料性能等有着重要影响。在等离子体中,电子、离子和中性粒子存在着丰富的相互碰
【基金】 国家自然科学基金(批准号:11075158);国家自然科学基金国家基础科学人才培养基金(批准号:J1103207)资助课题
- 【会议录名称】 第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会会议摘要集
- 【会议名称】第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
- 【会议时间】2013-08-15
- 【会议地点】中国上海
- 【分类号】O53;O484.1
- 【主办单位】中国力学学会等离子体科学与技术专业委员会、中国物理学会等离子体物理分会、中国核科学核聚变与等离子体物理学会