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大气压Ar-N2微波等离子体的发射光谱诊断
【机构】 大连理工大学 三束材料改性教育部重点实验室； 大连理工大学 物理与光电工程学院； 大连理工大学 电气工程学院； 大连理工大学 航空航天学院；
【摘要】 <正>引言大气压微波等离子体由于不使用真空设备,能量耦合效率高以及能量耦合方式采用的是电磁波辐射耦合不使用电极而不会产生等离子体污染日益受到低温等离子体物理领域研究者的关注,目前广泛应用在材料合成,材料表面处理,以及工业废气处理等诸多领域。其中电磁波以表面波形式激励和维持的表面波等离子体是一种重要和有效的获得大气压等离子体射流的技术手段。
【基金】 国家自然科学基金(项目编号:11275044);辽宁省自然科学基金(项目编号:201102028);中央高校基本科研业务费专项资金(项目编号:DUT13LAB02)的支持
- 【会议录名称】 第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会会议摘要集
- 【会议名称】第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
- 【会议时间】2013-08-15
- 【会议地点】中国上海
- 【分类号】O53
- 【主办单位】中国力学学会等离子体科学与技术专业委员会、中国物理学会等离子体物理分会、中国核科学核聚变与等离子体物理学会