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发射光谱法在MPCVD沉积金刚石中的应用
【机构】 武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室；
【摘要】 <正>CVD沉积金刚石膜是一种具有优异的光学、热学、机械性能及化学惰性的功能材料,能够满足众多领域的应用要求。在采用MPCVD沉积金刚石中等离子体中基团种类、分布及作用机理对薄膜质量的影响至关重要。发射光谱法作为一种便捷、高效、无干扰的等离子体诊断方法,适合用于等离子体的在线诊断分析。
- 【会议录名称】 第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会会议摘要集
- 【会议名称】第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
- 【会议时间】2013-08-15
- 【会议地点】中国上海
- 【分类号】TN304.055
- 【主办单位】中国力学学会等离子体科学与技术专业委员会、中国物理学会等离子体物理分会、中国核科学核聚变与等离子体物理学会